반도체 산업장비는 왜 석영, 탄화규소, 흑연을 사용해 부품을 만드는 걸까요?

석영 재료는 매우 높은 순도를 가질 수 있습니다. 반도체 응용 분야에 사용되는 석영 재료는 총 불순물 함량이 30ppm 미만이며 가공된 반도체 재료를 오염시키지 않습니다. 확산로 튜브, 실리콘 웨이퍼 이송 도구, 세척 탱크 등으로 사용할 수 있습니다.

탄화 규소는 순도가 높고 고온 저항도 우수합니다. 예를 들어 Saint-Gobain의 탄화 규소 용광로 튜브는 성능이 뛰어나고 수명이 길다.

흑연은 순도가 높고 전기와 열의 전도도가 우수하여 산소를 차단한 상태에서 우수한 저항 발열체로 만들 수 있으며 여전히 높은 강도를 유지할 수 있습니다. .

이러한 재료의 구체적인 특성에 대해서는 항목을 확인하거나 제조업체 소개에서 더 구체적인 데이터 및 내용을 볼 수 있습니다. 여기서는 자세히 설명하지 않겠습니다.