고효율 필터 먼지 입자 계수 방식 누출 감지 방법 및 인증 기준

고효율 필터는 클린룸의 청결함을 유지하는 핵심 부품이므로 고효율 필터의 품질이 매우 중요합니다. 그 중 가장 중요한 것은 단순성입니다. 나트륨 화염법, 카운터 스캐닝법, DOP 누출 감지 등 다양한 방법이 있습니다.

나트륨 불꽃 방법은 보다 전통적인 방법이며 오류가 더 큽니다. DOP 누출 감지 방법은 더 정확하지만 작업이 더 복잡하고 비용이 상대적으로 높습니다. 총 금액은 수십만 달러여야 합니다.

그래서 먼지 입자 계수기 스캐닝 방법이 더 일반적입니다. 입자 계수기와 DOP 생성기를 사용하십시오.

먼지 입자 계수기 스캔 방법

"클린룸 구성 및 승인 사양"에서는 검사할 고효율 필터가 공기량을 테스트하고 특정 온도에서 작동하도록 설계해야 한다고 규정합니다. 풍속 80-120, 최소 샘플링 볼륨 1L/min의 입자 계수기 스캐닝 방법을 사용하여 고효율 필터의 설치 조인트와 주요 섹션을 스캔하고 감지합니다. 감지 지점은 20-30mm 떨어져 있어야 합니다. 측정할 표면에서 프로브의 속도는 5~20mm/s여야 합니다. 고속으로 이동하여 검사 중인 필터의 전체 부분, 씰링 헤드 및 설치 프레임을 스캔합니다.

적격은 고효율 필터의 풍하측 누출 농도를 환산한 침투율로 측정되며, 적격 기준은 다음과 같습니다.

엔지니어링에서 일반적으로 100레벨 이상의 정화 시스템에 사용되는 입자 계수기의 최소 입자 크기 채널은 0.3μm입니다. 따라서 검사 대상 고효율 필터의 풍향측 입자 농도의 제어된 입자 크기는 ≥0.5μm이며, 농도는 ≥3.5×10pc/L이어야 하며, 일반 대기 먼지4의 농도는 5.3×10 -2.5×10pc/L. 이것은 먼지 입자 계수기의 판독 범위의 상한입니다.

많은 정화 시스템에서 순환 에어컨 박스로 유입되는 신선한 공기는 필터에 의해 처리되며, 그 농도는 환기된 공기와 혼합된 후 대기 먼지 농도보다 훨씬 낮습니다. 더욱 낮아져라. 따라서 설치된 정화공조시스템에 대기를 도입하는 것은 신중하게 고려해야 할 문제이다.

따라서 DOP 생성기는 표준 입자를 생성하는 데 사용됩니다. DOP 입자 생성기는 요구 사항을 충족하는 다수의 안정적인 입자를 생성하므로 업스트림 ≥0.3μm 입자 농도는 다음과 같거나 같습니다. 1×10개/L. DOP 입자는 필터 상류의 압축 공기(저온 생성)를 통해 시스템에 고르게 분사됩니다. 농도는 일반적으로 검출 장비의 측정 범위를 벗어나는 1×10pc/L보다 높기 때문에 입자 농도 희석기는 다음과 같습니다. 측정을 만들기 위해 검출 장비 앞에 직렬로 연결됩니다. 농도는 검출 장비의 측정 범위 내에 있습니다. 공장 효율 99.97의 고효율 필터에서 누출을 감지할 때 측정된 투과율은 0.06 미만이어야 합니다. 즉, 측정된 입자 농도는

0.06C1 미만이어야 합니다(C1은 상류입니다). 집중).

610×610 고효율 필터를 예로 들면, 샘플링 주기는 1분, 샘플링 속도는 50mm/s를 권장합니다. 누출 감지 전, 고효율 필터 주변에 약 500mm 높이의 울타리를 설치하여 고효율 필터 외부 프레임 외부의 공기 흐름이 와전류를 형성하여 스캐닝 테스트 결과에 영향을 미치지 않도록 하십시오. 필터 누출의 주된 이유는 외부 프레임 밀봉 링의 밀봉 효과가 좋지 않거나 필터 재료가 평평하고 단단하지 않기 때문입니다. 실제 응용 분야에서 설치 누출은 주로 외부 프레임에서 발생하며 외부 프레임 밀봉 스트립의 품질은 누출과 큰 관계가 있습니다. 따라서 엔지니어링 프로젝트에서 누출을 감지할 때 인클로저는 고효율 필터 주변에 배치됩니다. 공기 배출 인클로저 하부의 배출 면적이 줄어들면 인클로저에 일정한 양압이 형성됩니다.